Neues MEMS-Silizium-Miniatur-Mikrophon von Infineon bietet gleichwertige Akustik-Eigenschaften gängiger Mikrophone bei nur einem Drittel Stromverbrauch; Hohe Temperaturbeständigkeit erlaubt vollautomatisierte Fertigung
München, 14. November 2006 – Infineon Technologies AG stellt auf der electronica 2006 ein neues Silizium-Mikrophon vor, das nur etwa halb so groß ist wie herkömmliche Mikrophone, dabei aber gleichwertige akustische und elektrische Eigenschaften aufweist. Darüber hinaus ist das neue MEMS-(Micro-Electro-Mechanical System)-Silizium-Mikrophon deutlich hitzebeständiger und robuster als gängige Mikrophone, die heute fast ausschließlich in der ECM-Technologie (Electret Condenser Microphone) gefertigt werden. Das MEMS-Silizium-Mikrophon hält Temperaturen bis zu 260°C stand und ist vergleichsweise unempfindlich gegenüber Vibrationen und Erschütterungen. Aufgrund der hohen Temperaturbeständigkeit kann es auf alle Standardplatinen gelötet werden und eignet sich dadurch für eine vollautomatisierte Fertigung. Bei 1,5 bis 3,3 Volt Spannung liegt der Stromverbrauch des Miniaturmikrophons mit 70 µA bei lediglich rund einem Drittel des Strombedarfs größerer Mikrophone.

Das Mikrophon besteht aus zwei Chips, dem MEMS-Chip und dem ASIC (Application Specific Integrated Circuit) in einem Gehäuse (Surface Mounted Device). Das MEMS fungiert als Kondensator, der aus einer starren, perforierten Rückelektrode und einer flexiblen Silizium-Membran besteht. Es wandelt die akustischen Druckwellen in kapazitive Schwankungen um. Nachdem der ASIC diese in elektrische Signale umgesetzt hat, leitet er sie an die weiterverarbeitende Einheit, beispielsweise einen Basisbandprozessor oder Verstärker, weiter.

Das Anwendungsspektrum von MEMS-Silizium-Mikrophonen reicht von neuen Handy-Modellen und Headsets über den Consumer- und Notebookbereich sowie die Medizintechnik, zum Beispiel Hörgeräte, bis hin zu Automobilanwendungen wie Freisprecheinrichtungen. „Auch im Industriebereich können wir uns den Einsatz unser Mikrophone vorstellen, beispielsweise als akustische Sensoren zur Maschinenüberwachung“, sagte Peter Schiefer, Leiter des Geschäftsgebiets Discrete Semiconductors im Bereich Automotive, Industrial & Multimarket bei Infineon Technologies.

Infineon ist mit seiner Produktlinie MEMS-Silizium-Mikrophon der einzige Anbieter, der seine Expertise in MEMS und ASIC und die dazugehörigen Fertigungskompetenzen aus einer Hand anbietet. Die Technologie für die Fertigung der MEMS-Mikrophone wurde bei Infineon in Villach entwickelt.

Das Marktforschungsinstitut Wicht Technology Consulting (WTC) schätzt den Markt für Silizium-Mikrophone auf 680 Millionen US$ im Jahr 2010, ausgehend von 56 Millionen US$ im Jahr 2005. „Wir erwarten, dass sich das Silizium-Mikrophon am Markt schnell durchsetzen wird und wir sorgen für entsprechende Fertigungskapazität“, machte Schiefer deutlich. „Unser Ziel ist es, ein führender Anbieter für Silizium-Mikrophone zu werden.“

Mit dem MEMS-Silizium-Mikrophon baut Infineon das bestehende MEMS-Portfolio aus, das aus mechanischen und Hochfrequenz-MEMS besteht. Dazu zählen unter anderem Beschleunigungsmesser, Gyroskope, Drucksensoren und BAW-Filter (Bulk Acoustic Wave).

Technische Eigenschaften des neuen MEMS-Mikrophons

Das Infineon MEMS-Silizium-Mikrophon hat ausgezeichnete akustische Eigenschaften, wie hoher Signal-Rauschabstand (59dB(A)) und hohe Empfindlichkeit (10mV/Pa) aufgrund derer Elektret-Mikrophone eins zu eins ersetzt werden können. Zusätzlich weist es hohe Temperaturstabilität auf. Durch das kompakte, flache Gehäuse (4,72 mm x 3,76 mm x 1,5 mm) bieten sich beim Produktdesign wesentlich mehr Möglichkeiten an als bei größeren Mikrophonen. Ebenso sind Anordnungen von mehreren identischen Einzelmikrophonen zu Microphon-Arrays, wie sie für Richtcharakteristik erforderlich sind, einfach zu realisieren, da die Konformität der Silizium-Mikrophone sichergestellt werden kann und die Schwankungen über die Zeit gering sind. Hervorzuheben ist auch die geringe Stromaufnahme von durchschnittlich 70 µA. Dabei ist der Einsatz von 1,5V bis 3,3V Betriebsspannung möglich.

Weitere Informationen unter: http://www.infineon.com/microphone
Über Infineon

Die Infineon Technologies AG, München, bietet Halbleiter- und Systemlösungen für Automobil-, Industrieelektronik und Multimarket, für Anwendungen in der Kommunikation sowie Speicherprodukte über ihr Tochterunternehmen Qimonda. Infineon ist weltweit tätig und steuert seine Aktivitäten über Landesgesellschaften in den USA aus San Jose, Kalifornien, im asiatisch-pazifischen Raum aus Singapur und in Japan aus Tokio. Mit weltweit rund 36.400 Mitarbeitern erzielte Infineon im Geschäftsjahr 2005 (Ende September) einen Umsatz von 6,76 Milliarden Euro. Das DAX-Unternehmen ist in Frankfurt und New York (NYSE) unter dem Symbol „IFX“ notiert.

Weitere Informationen unter http://www.infineon.com
Weitere Informationen zu Qimonda unter http://www.qimonda.com
 
 
 
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Datum: 14.11.2006 10:30
Nummer: INFAIM200611.019
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Das MEMS-Silizium-Mikrophon von Infineon ist nur etwa halb so groß ist wie herkömmliche Mikrophone, weist jedoch deren akustische und elektrische Eigenschaften auf. Geeignet ist es für Handys und Headsets, Notebooks, Medizintechnik (z.B. Hörgeräte) und Freisprecheinrichtungen in Autos. Das Bild zeigt das Silizium-Mikrophon (links), von unten (unten) und eine Innenansicht ohne Deckel (rechts).
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